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產(chǎn)品特性：

5軸全直驅?zhuān)渲蠿YZ三軸為直線(xiàn)電機，A/C軸為直驅力矩電機 

XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋轉角度

優(yōu)化的結構設計，高剛性

XYZ氣冷設計，控制溫升，重復定位精度可達±0.75um

XYZ軸最大速度1m/s,最大加速度3-4g

Z軸采用電磁彈簧設計，安全性高

5軸均內置高精度光柵尺反饋

典型應用領(lǐng)域：2D/3D高精度檢測與測量

*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）