XYZ微型顯微鏡平臺
產(chǎn)品特性:
XY軸為直線(xiàn)電機,集成高精度光柵尺,重復定位精度±0.75um
Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構,光柵尺
反饋,重復定位精度±0.5um
典型應用領(lǐng)域:
8寸,12寸晶圓檢測
*如需詳細參數,請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師(郵箱:cust-service@akribis-sys.cn)
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