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產(chǎn)品特性：

XY中空設計，Class100

XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌

XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um，絕對定位精度2um

T軸為高精度力矩電機，軸向/徑向端跳＜3um，360度旋轉

典型應用領(lǐng)域：4/6/8寸晶圓檢測/測試

*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）